11月14日园十州，深圳市恒运昌真空技术股份有限公司（下称“恒运昌”）将接受上交所科创板上市审核。
恒运昌一直聚焦半导体设备核心零部件等离子体射频电源系统，在半导体产业链中占据关键地位。
据了解，等离子体射频电源系统是激发并维持等离子体稳定运行的能量源泉，被誉为半导体设备的“心脏”。恒运昌的产品在功率稳定性和频率控制精度等指标上达到国际先进水平，不仅成功打破海外垄断的竞争格局，夯实了我国半导体产业基石，对提升我国半导体产业链供应链的韧性和安全水平也具有重要意义。
出货、量产、市占率第一，自研产品填补国内空白，打破国际垄断
等离子体射频电源系统是通过精确控制电流频率和功率，指挥着半导体制造过程中的等离子体变化，确保在晶圆表面精确、均匀地沉积出薄膜层、精细地刻蚀出复杂图形和去除光刻胶等，发挥着“指挥家”作用。
然而，如在刀尖跳舞的高精度要求、在米粒上雕刻“千里江山图”的空间尺度要求、以及对等离子体速度、一致性和稳定度的要求，导致等离子体射频电源系统技术壁垒高、研发投入大、研发周期长，国产化率极低。根据弗若斯特沙利文统计，2024年中国大陆半导体领域等离子体射频电源系统的国产化率不足12%。
恒运昌的技术突破，正是对中国半导体产业链安全与韧性的重要加固。作为国内领先的半导体设备核心零部件供应商，恒运昌聚焦于等离子体射频电源系统的技术攻关，历经十年园十州，是国内首家量产出货过亿元的国产等离子体射频电源系统厂商。公司先后推出CSL、Bestda、Aspen三代产品系列，其中公司自主研发的第二代产品 Bestda 系列可支撑28纳米制程，为中国大陆代工厂的成熟制程产能在全球前十大晶圆代工厂中达到25%以上作出强大技术贡献；第三代产品Aspen系列可支撑7-14纳米先进制程，其产品性能可对标国际巨头MKS和AE，填补国内空白。两系列成品均已通过验证并量产，成功打破了 MKS和AE长达数十年在国内的垄断格局。
据弗若斯特沙利文统计，2024年在中国大陆半导体行业国产等离子体射频电源系统厂商中，恒运昌的市场份额位列第一，市场地位领先。招股书显示，报告期各期自研产品收入金额分别为 1.04亿元、2.39亿元、4.56亿元和2.58亿元，占比分别为 66.02%、73.51%、84.34%和84.81%，收入规模和占比逐年上升。
实力强劲的自研产品离不开持续的科研投入和高质量的研发团队，恒运昌研发金额和研发人员占比在国内外可比公司中均居高位。截止今年6月30日，公司已取得境内外108项专利。2022年至2025年6月底，研发投入金额不断增长，分别为0.22亿元、0.37亿元、 0.55亿元和0.43亿元，累计研发投入金额 1.57亿元。报告期内，供拥有研发人员158人，占员工总人数的42.13%。
发展前景广阔，毛利率水平领先，为我国半导体产业延链补链强链
据弗若斯特沙利文统计，未来全球等离子体射频电源系统市场规模将加速增长，2024-2028年复合增长率预计为9.4%，欧美等发达国家在这一领域长期占据着主导地位。我国大陆等离子体射频电源系统行业的起步相对较晚，但近年来展现出了快速的发展势头。中国大陆半导体行业等离子体射频电源系统市场从2019年到2023年，市场规模由 31.7亿元增长至58.4亿元，年均复合增长率达到16.5%。未来中国大陆半导体行业等离子体射频电源市场规模将继续快速增长，2024-2028年复合增长率预计为12.5%。
数据来源：弗若斯特沙利文
随着全球半导体制造规模的不断扩大、光伏行业的降本增效、以及国产验证与替代的需求不断提高，促使等离子体射频电源系统企业不断提升稳定性和效率。据招股书披露，恒运昌产品已实现量产交付拓荆科技、中微公司、北方华创、微导纳米、盛美上海等国内头部半导体设备商，也已通过中芯国际、长江存储等国内龙头终端晶圆厂的准入审核。此外，公司还在积极推进其他多款等离子体射频电源、匹配器、远程等离子源的后续验证工作，以期实现快速放量。
截至 2025年6月30日，公司与上述客户已实现百万级收入的自研产品共38款，实现千万级收入的自研产品共24款。稳定的合作关系为公司在半导体设备领域的持续发展提供了坚实基础，形成良性发展循环。
恒运昌的行业竞争力从毛利率水平上可以直观体现。据招股书显示，近年来，公司毛利主要来源于以等离子体射频电源系统为核心的自研产品，自研产品毛利分别为5,276.81万元、13,133.14万元、24,942.19万元和 14,099.94万元，占主营业务毛利比例分别为80.11%、87.56%、94.69%和 94.59%，呈快速上升趋势。
总结来看，恒运昌历经十余年持续致力于高端半导体设备核心零部件的研发生产，已实现在精度、稳定性、数字化等技术突破，硬科技实力突出，为我国半导体产业链自主可控贡献力量，符合国家产业政策和新质生产力的发展要求。
伴随着科创板正在以更高效率、更优服务推动科技企业对接资本市场的步伐园十州，成为硬科技企业的新支点，恒运昌将抓住半导体产业链国产化的机遇，在国家政策大力支持下，不断深化现有研发成功、持续深化产品矩阵，在努力跻身国际一流的半导体设备核心零部件全球供应商行列的同时，助力国内半导体设备企业实现关键零部件全面自主可控，提升我国半导体产业链供应链韧性和安全水平，加速国产半导体设备的等离子体射频电源系统国产替代进程，为做大做强国产半导体设备贡献力量。
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